题目:以下属于硅掺杂设备是()
题型:[多选题]
A.曝光机
B.热扩散炉
C.离子注入机
D.VD
参考答案:BC
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更多“以下属于硅掺杂设备是()”相关的问题第1题
硅是半导体产业中最常用的半导体材料,以下()选项属于硅材料的优点。A.易于进行腐蚀加工
B.带隙大小适中、硅表面上很容易制备高质量的介电层SiO2
C.易于通过沉积工艺制备出单晶硅、多晶硅和非晶硅薄膜材料
D.易于进行n型和p型掺杂
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题3-3-5 集成电路制造工艺中,以下对氧化速率没有影响的因素是: 。A.温度
B.厚度
C.硅晶向
D.掺杂
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题3-3-5 集成电路制造工艺中,以下对氧化速率没有影响的因素是: 。A.温度
B.厚度
C.硅晶向
D.掺杂
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题3-3-5 集成电路制造工艺中,以下对氧化速率没有影响的因素是: 。A.温度
B.厚度
C.硅晶向
D.掺杂
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题3-3-5 集成电路制造工艺中,以下对氧化速率没有影响的因素是: 。A.温度
B.厚度
C.硅晶向
D.掺杂
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对于单结p-i-n结构微晶硅薄膜太阳能电池的p层,以下说法正确的是()。A.为电池的窗口层;
B.具有较高的电导率;
C.具有较宽的光学带隙;
D.通常为磷掺杂的微晶硅薄膜。
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对于单结p-i-n结构微晶硅薄膜太阳能电池的p层,以下说法正确的是()。A.为电池的窗口层;
B.具有较高的电导率;
C.具有较宽的光学带隙;
D.通常为磷掺杂的微晶硅薄膜。
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对于单结p-i-n结构微晶硅薄膜太阳能电池的p层,以下说法正确的是()。A.为电池的窗口层;
B.具有较高的电导率;
C.具有较宽的光学带隙;
D.通常为磷掺杂的微晶硅薄膜。
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